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改善石墨膜的平坦性的方法、以及石墨膜及其制造方法技术
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下载改善石墨膜的平坦性的方法、以及石墨膜及其制造方法的技术资料
文档序号:8349209
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平坦性差的原料石墨膜在进行与其它材料的层压时会发生产生褶皱等不良情况。特别是对于大面积的石墨膜,往往会发生产生褶皱等不良情况。为了解决该问题而实施平坦性矫正处理工序,该工序中,一边对原料石墨膜施加压力,一边进行热处理直至2000℃以上。通过...
该专利属于株式会社钟化所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社钟化授权不得商用。
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