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本发明公开一种湿法氧化制备二氧化硅掩膜的方法，其特征在于包括以下步骤：将已制绒的硅片送入湿法氧化扩散炉反应炉管，加热时通入氮气，持续特定时间稳定反应腔内氛围后通入氮气、湿氧、氮气携带的液态三氯氧磷后进行沉积，完成后停止氮气、三氯氧磷供给，继...该专利属于东方电气集团（宜兴）迈吉太阳能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东方电气集团（宜兴）迈吉太阳能科技有限公司授权不得商用。