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一种梯形终端的碳化硅结势垒肖特基二极管器件制造技术
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下载一种梯形终端的碳化硅结势垒肖特基二极管器件的技术资料
文档序号:8348370
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一种梯形终端的碳化硅结势垒肖特基二极管器件,所述梯形终端的碳化硅结势垒肖特基二极管器件为对称结构,包括:N+型衬底,在N+型衬底上设有N型过渡外延层,在N型过渡外延层上设有N-型外延层,在N-型外延层的内部上方设有2个P型结终端和4个等间距...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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