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本发明涉及半导体制造领域，具体涉及一种化学药液分配装置。该装置包括储存容器，其内部储存化学药液，其顶部设置有注液入口和回液入口，其底部设置有与循环泵的输入端连接的出液口；采样阀，其为三通阀，其输入端连接循环泵的输出端，采样端连接热水注入通道...
该专利属于北京七星华创电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创电子股份有限公司授权不得商用。

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