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本发明公开了一种开关管的制作方法，包括在玻璃基板上依次形成开关管的控制电极、绝缘层、有源层以及源漏金属层，对源漏金属层进行图案化处理后暴露有源层，之后对暴露的有源层以逐步降低蚀刻速度的方式进行蚀刻以形成开关管的沟道。本发明还公开一种开关管的...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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