下载一种太阳能电池片及其扩散方法的技术资料

文档序号:8348319

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本发明公开了一种太阳能电池片及其扩散方法,包括:提供半导体衬底;在第一温度条件下,在所述半导体衬底的待扩散表面形成杂质层;在第二温度条件下,利用湿法氧化工艺对半导体衬底表面形成有杂质层的一侧进行氧化,在所述半导体衬底表面形成氧化层;在第二温...
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