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本发明公开了一种磁控管，包括：具有第一磁极性的外磁极；设在外磁极的内部的内磁极，所述内磁极具有与第一磁极性相反的第二磁极性，内磁极与外磁极之间的间隙限定出一条连续闭合的轨道，内磁极包括第一和第二内磁极段，第一和第二内磁极段均为渐开线形状，第...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。