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本发明公开一种显影液喷涂轨道机及其喷涂方法。所述显影液喷涂轨道机包括至少两个互不交叠的显影槽、以及设置在显影槽上方的显影液喷涂装置，所述显影液喷涂装置包括喷嘴、与喷嘴连接的用于输送显影液的管路、固定喷嘴的机械臂，以及控制喷嘴和机械臂动作的控...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

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