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本发明是一种应用于FBAR和SAW传感器的气体敏感膜及传感器方案。所述气体敏感膜采用杯芳烃/含氢类金刚石结构。本发明的有益效果是：相比于当前普遍使用的纳米分子筛式气体敏感膜及微孔聚合物气体敏感膜，本发明基于杯芳烃/含氢类金刚石结构的气体敏感...
该专利属于天津理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津理工大学授权不得商用。

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