【技术实现步骤摘要】
—种应用于FBAR和SAW传感器的气体敏感膜及传感器
本专利技术属于薄膜电子技术与传感技术交叉领域，特别是一种适用于声表面波(SAW)和薄膜体声波(FBAR)气体传感器的气体敏感膜及传感器。
技术介绍
精确、快速检测和识别有害气体的种类和含量，对保护人的生活质量具有重要的意义。在有害气体快速实时检测领域，气体传感器的应用越来越广泛。在此背景下，气体敏感膜就要求有较高的灵敏度、选择性、快速可逆吸附/脱附，以达到实时监测气体环境的目的。从原理上讲，敏感膜对被测分子的吸附作用包括化学吸附、物理吸附(范德瓦尔斯力)、氢键力、分子间弱相互作用力(C 一 H··· π，…等弱相互作用)。化学吸附依靠分子间化学键相互作用，选择性很好，但可逆性很差；物理吸附主要依靠范德瓦尔斯力相互作·用，可逆性很好，但选择性很差；氢键力、分子间弱相互作用力强度介于化学键和范德瓦尔斯力之间，易形成、也易断裂，由氢键力或弱相互作用吸附的气体分子在敏感膜上容易发生可逆的吸附和脱附。若使气体传感器达到较快的响应和恢复速度，就需要被测气体与气敏膜快速吸附和脱附。目前常用的微孔气体敏感膜材料是纳米分子筛和聚...
【技术保护点】
一种应用于FBAR和SAW传感器的气体敏感膜，其特征在于所述气体敏感膜采用杯芳烃/类金刚石结构，所述杯芳烃制备于类金刚石表面。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨保和，张乾坤，曾宪顺，苏林，徐晟，
申请(专利权)人：天津理工大学，
类型：发明
国别省市：
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