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一种测量直接带隙半导体材料禁带宽度的装置和方法制造方法及图纸
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文档序号:8347534
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本发明公开了一种测量直接带隙半导体材料禁带宽度的装置和方法,该装置包括:光源、第一透镜、待测样品、源表、第二透镜、单色仪、探测器组件和计算机,该计算机控制单色仪、源表和探测器组件,实现源表对直接带隙半导体材料制成肖特基势垒探测器样品的不同反...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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