专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
复旦大学
>
一种低压热壁密集装片原子层淀积设备和工艺制造技术
>技术资料下载
下载一种低压热壁密集装片原子层淀积设备和工艺的技术资料
文档序号:8346669
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种低压热壁密集装片原子层淀积设备和工艺,它包括一个反应组合气体交替脉冲气源、一个低压反应炉管、一个加热炉组、一个垂直于气流密集装片组和一个衬底片支架。该低压密集装片原子层淀积设备和工艺利用低压气体的涡流和原子层淀积的自限制生长,...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。