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本发明涉及薄膜与涂层制备技术领域，具体地说是一种多结构耦合磁场适应型旋转弧离子镀装置，解决现有技术中大颗粒、靶材刻蚀与涂层均匀性差、沉积效率低等问题。该旋转弧离子镀装置采用特种多功能多结构适应型离子镀枪配合结构优化的水冷法兰套作为整体弧源结...
该专利属于温州职业技术学院所有，仅供学习研究参考，未经过温州职业技术学院授权不得商用。

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