下载基于Ni膜退火的SiC衬底图形化石墨烯制备方法的技术资料

文档序号:8346106

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本发明公开了一种基于Ni膜退火的SiC衬底图形化石墨烯制备方法,主要解决现有技术制备的石墨烯需要先光刻图形化后才可制成晶体管,且过程复杂,生产率低的问题。其实现步骤是:先对SiC样片进行清洗;再在SiC样片表面淀积一层SiO2,并在SiO2...
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