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一种改进的太阳能电池片PECVD设备，包括有反应腔室，该反应腔室包括有附尘槽及供气装置，该供气装置包括有特气管道及固定于所述附尘槽上的设有气体喷淋小孔的气体喷淋管，该气体喷淋管与特气管道相连通，所述气体喷淋管上附有一可拆卸的附尘板，该附尘板...
该专利属于阳光大地（福建）新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过阳光大地（福建）新能源有限公司授权不得商用。

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