下载晶片检测机的技术资料

文档序号:8341527

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一种晶片检测机,该晶片检测机具有可调整X轴、Y轴位置和θ角的晶片载台,以及沿着垂直轴(Z轴)升降移动的检测卡载台。本实用新型以移动检测卡载台的方式,避免因晶片载台升降位移使晶片受震动而偏移的问题,据以达到晶片检测机高稳定度和检测结果高可靠度...
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