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本实用新型公开了一种基板上残留物的检测装置，包括检测信号发射源、检测信号接收器和控制器；其中，所述检测信号发射源，用于向基板发射波信号；所述检测信号接收器，用于接收基板所反馈的波信号，并将收到的波信号用于检测残留物的有用信息发送给控制器；所...
该专利属于北京京东方光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京东方光电科技有限公司授权不得商用。

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