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本实用新型涉及一种用于沉积非晶硅薄膜的真空设备，真空泵组通过真空管道和沉积腔室相连，以保证沉积薄膜时所需的真空环境。沉积腔室通过螺栓固定在支撑平台上。在沉积腔室的侧面对称设有样品门和观测窗，能方便样品的取放以及观察样品的成膜情况。水冷腔室设...
该专利属于成都达信成科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都达信成科技有限公司授权不得商用。

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