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本实用新型公开了一种半自动研磨装置，包括：研磨机台、研磨头、升降杆及控制装置，其中研磨头安装在研磨机台上方，控制装置通过控制升降杆的升降，控制施加在研磨头上的压力。本实用新型能使样品（芯片）被固定，不易飞走；样品均匀性会比较好；不会出现划伤...
该专利属于上海华虹NEC电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹NEC电子有限公司授权不得商用。

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