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微纳米尺度物体的超声操控系统技术方案
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文档序号:8317209
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本发明公布了一种微纳米尺度物体的超声操控系统,其特征在于:包含一个超声操控子系统和光学显微子系统,超声操控子系统包括至少一个超声探针,探针机械励振机构及其驱动电路,超声探针及其励振机构被安装在一个微/纳米精度的XYZ移动台上。至少一个超声探...
该专利属于南京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京航空航天大学授权不得商用。
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