下载圆形硅片的电极面图案结构的技术资料

文档序号:8311700

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本实用新型提供一种圆形硅片的电极面图案结构,包括圆形硅片、以及设置在所述圆形硅片上的主栅线,所述圆形硅片上包括中央区域和外围区域,其中,所述中央区域被包围在所述外围区域中,所述中央区域内设置有中央副栅线,所述外围区域中设置有外围副栅线,所述...
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