下载一种新型多晶硅还原炉高压启动装置的技术资料

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一种新型多晶硅还原炉高压启动装置,主要针对硅芯排布为含有4对一组的还原炉,用于西门子法多晶硅生产的硅芯启动击穿阶段。主要由两种不同电压等级的升压变压器、电抗器、接触器、熔断器、电流检测装置、PLC控制单元以及电动接地刀闸和接地电阻构成。所需...
该专利属于陕西天宏硅材料有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过陕西天宏硅材料有限责任公司授权不得商用。

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