下载多晶硅还原炉的技术资料

文档序号:8308147

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本实用新型公开了一种多晶硅还原炉,包括:炉壳体,其底部设置有底盘,底盘上开设有多个电极孔、至少一进气孔和至少一出气孔,其中,电极孔以进气孔为中心呈正多边形排列,电极孔位于正多边形的顶点;多个电极,分别设于电极孔中,电极上连接有硅棒;至少一进...
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