专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
株式会社尼康
>
清洗方法、器件制造方法、曝光装置、以及器件制造系统制造方法及图纸
>技术资料下载
下载清洗方法、器件制造方法、曝光装置、以及器件制造系统的技术资料
文档序号:8304136
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
清洗方法包括:将清洗用的第1液体供给到接液构件而对接液构件进行清洗;回收供给到接液构件的第1液体;在用第1液体对接液构件进行了清洗之后,将与第1液体不同的第2液体供给到接液构件;回收供给到接液构件的第2液体;以及执行使回收的第2液体中包含的...
该专利属于株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼康授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。