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本发明公开一种用于选择用于形成静电夹持装置的材料的装置和方法。静电夹持装置具有背板，背板具有第一热膨胀系数，其中背板对静电夹持装置提供结构性支撑和刚性。静电夹持装置进一步具有夹持板，夹持板具有与接触工件相关的夹持表面，其中夹持板具有与其相关...
该专利属于艾克塞利斯科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾克塞利斯科技公司授权不得商用。

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