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经涂覆之石墨物件及石墨物件之反应性离子蚀刻制造及整修制造技术
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文档序号:8304111
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根据本发明之一具体实例,提供一种经涂覆之石墨物件。该物件包含:石墨,及一覆盖该石墨之至少一部分之导电涂层。该导电涂层包含一贯穿该石墨及该导电涂层之厚度所量测得的小于约50欧姆之全厚度电阻。根据本发明之另一具体实例,提供一种用于制造一包含一导...
该专利属于恩特格林斯公司所有,仅供学习研究参考,未经过恩特格林斯公司授权不得商用。
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