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一种液浸构件(3)，配置在液浸曝光装置(Ex)内，且至少部分配置于光学构件(8)周围及通过光学构件与物体(P)之间的液体的曝光用光的光路(K)周围。液浸构件具备：第1构件(28)，具有回收物体上的空间的液体的至少一些的回收口(18)；回收流...
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