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描述了用于将电压施加到CVD反应器中的多个硅棒(51-54)的一种设备和一种方法以及一种CVD反应器。所述设备具有：串联连接，其中硅棒可作为电阻器插入；至少一第一电源单元(12)；至少一第二电源单元(14)；至少一第三电源单元(16)；以及...
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