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本发明公开了一种用于半导体硅片快速退火的装置，包括承接热处理炉出来半导体硅片的支撑支架，与支撑支架固定相连的移动滑板，与移动滑板配合的滑动导轨，该装置还包括一设于滑动导轨上的接触式开关及受该接触式开关控制开关的冷却风扇，当半导体硅片随移动滑...
该专利属于浙江长兴众成电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江长兴众成电子有限公司授权不得商用。

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