下载蚀刻液及形成图案化多层金属层的方法的技术资料

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一种蚀刻液及形成图案化多层金属层的方法,该蚀刻液用以蚀刻形成图案化多层金属层。蚀刻液包括二价铜离子、氨水、磷酸铵溶液与有机铵盐。一种形成图案化多层金属层的方法也被提出。首先,提供前述蚀刻液。接着,形成多层金属层于基板上。之后,以蚀刻液蚀刻多...
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