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蚀刻液及形成图案化多层金属层的方法技术
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文档序号:8297856
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一种蚀刻液及形成图案化多层金属层的方法,该蚀刻液用以蚀刻形成图案化多层金属层。蚀刻液包括二价铜离子、氨水、磷酸铵溶液与有机铵盐。一种形成图案化多层金属层的方法也被提出。首先,提供前述蚀刻液。接着,形成多层金属层于基板上。之后,以蚀刻液蚀刻多...
该专利属于友达光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过友达光电股份有限公司授权不得商用。
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