下载堆积装置和堆积方法的技术资料

文档序号:8297826

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本发明公开的堆积装置具备:催化反应装置,含有:导入第1原料气体的导入部,和收容从所述导入部所导入的所述第1原料气体生成反应性气体的催化剂的、催化剂容器,和从所述催化剂容器喷出所述反应性气体的反应性气体喷出部;反应性气体分离器,容许从所述反应...
该专利属于国立大学法人长冈技术科学大学;东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过国立大学法人长冈技术科学大学;东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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