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本发明涉及用于在薄膜气相沉积装置中计量粒状源材料的装置。具体而言，一种计量机构被配置成用于将测定剂量的粒状材料从第一位置移送到第二位置，并且特别适合于在气相沉积装置中计量源材料。接收器布置成从第一位置接收粒状材料。排出端口从该接收器的出口轴...
该专利属于初星太阳能公司所有，仅供学习研究参考，未经过初星太阳能公司授权不得商用。

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