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本发明涉及锍化合物、光致产酸剂及抗蚀剂组合物。具体而言，本发明提供了由式(1)表示的锍化合物、包含所述锍化合物的光致产酸剂以及包含所述光致产酸剂的抗蚀剂组合物。其中在式1中，X表示给电子基团；R1和R2各自独立地表示烷基等；R4至R6各自独...
该专利属于锦湖石油化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过锦湖石油化学株式会社授权不得商用。

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