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本发明涉及一种片式氧化锆传感器的低温共烧方法,所述方法包括:在氧化钇稳定氧化锆中加入低熔点、具有离子导电性的玻璃粉,配制浆料;将浆料流延成型,切割,冲过孔、参比气体通道、气体室等;印刷Pt等贵金属电极,叠层热压,并在1000℃~1200℃下...该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。
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本发明涉及一种片式氧化锆传感器的低温共烧方法,所述方法包括:在氧化钇稳定氧化锆中加入低熔点、具有离子导电性的玻璃粉,配制浆料;将浆料流延成型,切割,冲过孔、参比气体通道、气体室等;印刷Pt等贵金属电极,叠层热压,并在1000℃~1200℃下...