下载一种聚合物纳米通道的制作方法的技术资料

文档序号:8296081

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本发明公开了一种聚合物纳米通道的制作方法,包括以下步骤:(1)在清洗后的衬底上旋转涂覆抗蚀剂,获得抗蚀剂层;(2)烘烤除去抗蚀剂溶剂;(3)通过曝光和显影,获得成对的纳米线条结构;(4)用清洗液清洗纳米线条结构,待清洗液在空气中完全挥发后,...
该专利属于中国电子科技集团公司第三十八研究所;合肥公共安全技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第三十八研究所;合肥公共安全技术研究院授权不得商用。

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