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一种非硅MEMS微通道组的制作方法，涉及电子器件生产技术领域。本发明首先用用涂胶机在圆形玻璃基片上均匀甩涂光刻胶，制得均匀胶层玻璃基板；再用准分子激光直写法在第一步所得均匀涂胶的玻璃基片刻蚀微通道结构，得到胶层模板；再对刻蚀后的胶层微流控芯...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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