下载多线硅片切割工艺的技术资料

文档序号:8295300

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种多线硅片切割工艺,所述的工艺包括以下步骤:碳化硅微粉的选择:选择粒度为2000的碳化硅微粉;砂浆配置:将切削液和碳化硅微粉按照1:0.92~1:1.1的质量比进行配比,使砂浆密度到1.600~1.615;切割:使用直径为6.5...
该专利属于苏州东泰太阳能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州东泰太阳能科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。