温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种悬臂伺服机械手，其特征在于：由机架、X轴向驱动机构、Y轴向驱动机构、Z轴向驱动机构以及两工件夹爪组成；其中，所述Y轴向驱动机构包括两条Y轴向导轨、一Y轴向丝杠螺母机构以及Y轴向伺服电机；所述X轴向驱动机构包括一X轴向基座、一X轴向导轨、...
该专利属于苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。