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本发明涉及一种改善在衬底的化学连续式处理过程中去除含有反应气体的空气的设备及方法。该设备通过传送气体从用于扁平物体的单侧湿法化学处理的连续式设备中去除气态反应产物，其包括入口、用于收容处理液的处理池、具有传送面的用于沿传送方向水平传送扁平物...
该专利属于睿纳有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过睿纳有限责任公司授权不得商用。

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