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制备电子工业用氮化物的氨气尾气处理装置，包括氨气尾气输入管、换热器、氨分解炉、水冷器、第一吸附器和尾气排放管；所述换热器分为壳通道和管通道，所述壳通道和管通道互不连通；所述氨气尾气输入管与换热器的壳通道进口端连接相通，所述换热器的壳通道出口...
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