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文档序号:8292132
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一种高真空泵(11),包括多个泵级,每个泵级包括多个相互合作的元件,所述元件包括至少一个旋转的转子元件(1;13;33)和至少一个固定的定子元件。至少一个泵级的至少一个元件由用短纤维增强的塑料材料制成,所述短纤维以无序并基本上随机的方式分散...
该专利属于安捷伦科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安捷伦科技有限公司授权不得商用。
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