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一种XY两坐标气浮定位平台,其特征是包括底座、X轴基座(2)、X轴导向导轨(3)、X轴直线电机定子(4)、Y轴基座(6)、Y轴直线电机定子(7)、Y轴导向导轨(8)、X轴滑台(5)、Y轴滑台(9)和工作平台(10),底座上采用螺栓固定连接的...该专利属于南京工业大学;南京工大数控科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京工业大学;南京工大数控科技有限公司授权不得商用。
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一种XY两坐标气浮定位平台,其特征是包括底座、X轴基座(2)、X轴导向导轨(3)、X轴直线电机定子(4)、Y轴基座(6)、Y轴直线电机定子(7)、Y轴导向导轨(8)、X轴滑台(5)、Y轴滑台(9)和工作平台(10),底座上采用螺栓固定连接的...