下载晶片盒气体填充装置的技术资料

文档序号:8290226

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本实用新型的晶片盒气体填充装置是在机台上设置有不同种类的喷嘴,其中一种喷嘴设计成具有弹性滑移的结构,故当具有不同深度的填充气嘴的晶片盒置放于机台上时,除了利用感测件得知晶片盒的种类之外,不同种类的晶片盒的填充气嘴也可适当地连接于其所搭配的喷...
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