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一种管式PECVD温度控制系统，它包括主控制器、温度控制器、可控硅触发板、可控硅、变压器、多对热电偶，所述的热电偶的信号输出端与温度控制仪的信号输入端相连，温度控制仪的控制信号输出端与可控硅触发板的控制信号输入端相连，可控硅触发板的输出端与...
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