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一种易于封装的磁场传感器制造技术
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下载一种易于封装的磁场传感器的技术资料
文档序号:8288825
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本实用新型公开了一种易于封装的磁场传感器,该磁场传感器包括四个悬臂梁、悬臂梁锚区、第一支撑柱、金属层、氧化硅膜层和硅膜层,悬臂梁锚区固定在第一支撑柱的顶面;四个悬臂梁呈十字形,固定在悬臂梁锚区的侧壁上;每个悬臂梁的顶面设有一圈金属线,悬臂梁...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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