下载提高硅片电性能的退火炉网带的技术资料

文档序号:8287802

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本实用新型涉及单晶、多晶硅片生产用退火炉,特别涉及一种提高硅片电性能的退火炉网带,包括网带本体,网带本体的上表面设有等间隔的凸起,相邻两个凸起之间的间隔为2cm~8cm,凸起凸出网带本体的高度大致相同,凸起凸出网带本体的高度为0.5cm~1...
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