温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，公开了一种碳化硅单晶生长炉的压力控制系统，包括生长室、与生长室连通的充气链路、抽气链路和压力控制装置；所述充气链路包括两个充气阀及设于两个充气阀之间的流量计；所述抽气链路包括第一链路、第二链路；所述压力...
该专利属于北京七星华创电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创电子股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。