温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型提供了一种气体浓度控制装置,所述装置包括:进口气路单元,用于控制、过滤、调节以及显示进口气体压力,并将处理后的气体送入源瓶;源瓶,用于存放源气体;出口气路单元,用于控制以及显示出口气体压力,并将源瓶出口的混合气体送入气体浓度检测单...该专利属于北京七星华创电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京七星华创电子股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型提供了一种气体浓度控制装置,所述装置包括:进口气路单元,用于控制、过滤、调节以及显示进口气体压力,并将处理后的气体送入源瓶;源瓶,用于存放源气体;出口气路单元,用于控制以及显示出口气体压力,并将源瓶出口的混合气体送入气体浓度检测单...