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本实用新型公开了一种LED发光二极管外延生长新设备，该设备包括电控箱、混气箱、反应腔、传送箱、尾气处理系统，区别于传统的圆柱型反应腔，本实用新型所述的反应腔侧壁不垂直于外延生长载盘，同时反应腔内的尾气排放装置安装于反应腔的下方，并且尾气排放...
该专利属于江苏汉莱科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏汉莱科技有限公司授权不得商用。

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