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本实用新型提供了一种晶舟辅助装置，所述晶舟辅助装置包括竖向设置的辅助物支架与至少两层水平设置的辅助物底座，所述辅助物底座是半环状结构，所述辅助物底座固定安装在所述辅助物支架上，所述辅助物底座和所述晶圆底座的形状和大小相对应，当晶舟辅助装置安...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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